刊于2026年9月20日交汇点

9月中旬，走进位于苏州高新区的苏州中科科仪技术发展有限公司（以下简称苏州科仪），一台台磁悬浮分子泵在展台上整齐排布。“小的这台分子泵转速可达一分钟九万转，大的可达一分钟三万转。”苏州科仪总经理助理佟鹏介绍。

磁悬浮分子泵被称为半导体设备的“心脏部件”，光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等芯片制造的核心工序，都要靠它制造真空环境才能完成。但以往，这项关键技术一直被国外所垄断。

如今，这个“心脏部件”已实现中国造。苏州科仪的母公司北京中科科仪股份有限公司（以下简称中科科仪），前身是1958年成立的中国科学院科学仪器厂，也是国家科技部重大仪器设备专项“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目的承担单位，研制出我国第一台具有完全自主知识产权的磁悬浮分子泵，一举打破国外长期的技术封锁与市场垄断，填补了国内高端真空获得设备领域的空白。

中科科仪与苏州高新区是怎么结缘的？时间的指针拨回2019年，当时这家拥有六十余年技术积淀的企业作出了一个关键决策——走出北京，在外地设立全资子公司。

中科科仪高端仪器装备产业园选址时，团队曾同步考察多座城市。那时团队还没有固定的办公地点，苏州高新区为他们安排好了临时办公室。后来生产需要场地，他们又帮助企业很快走完拿地流程，还提供7000余平方米周转厂房，助力企业在新厂区建设期间提前开展试制生产、承接市场订单。

这些年，企业在苏州高新区一步一个脚印。2019年企业设立苏州全资子公司，开启长三角产业化布局；2022年，总投资10亿元、占地50亩的中科科仪高端仪器装备产业园项目正式开工建设，2023年入选省重大项目清单；2025年10月全面竣工投产，标志着中科科仪集团规模化、产业化核心基地正式落地苏州。

如今，这里已成为中科科仪在长三角布局的最大产业化基地，自动化产线高效运转。今年上半年苏州科仪业绩保持高速增长，产能较年初大幅提升，未来年产能突破万台。

“单月产量比旧厂房提升了150%。”佟鹏说，90%的物料都能在本地及周边采购，供应商大部分都在2小时车程内，响应快、效率高。

产业化提速的同时，苏州基地的人才队伍也在同步壮大。面对高端科学仪器装备行业人才供给不足的现实痛点，苏州科仪落实人才强企战略，坚持外部引才与内部育才并举，依托母公司60余年技术积攒、长三角产业区位、重大产业化项目，构建“引、育、用、留”全链条人才工作体系；吸纳东南大学、苏州大学等本省高校人才，推行一对一导师制与职级梯队体系，新员工仅4个月系统培养即可独立作业。

7年时间，苏州科仪在苏州高新区走出了一条自主可控的路。面向未来，苏州科仪将紧扣国家战略需求，以半导体关键装备零部件国产化为主线，以“规模产业化”为核心，坚持“创新驱动、需求牵引、自主可控”为关键进行系统性布局，到2030年实现高端真空装备年产能超万台、营收规模突破10亿元，致力于成为一家在高端科学仪器装备与核心零部件领域国内领先、具有国际竞争力的隐形冠军企业。